深圳新聞網(wǎng)2025年5月8日訊（記者 曾毅偉）近日，2025年廣東省慶?！拔逡弧眹H勞動節(jié)暨勞動模范、先進(jìn)工作者和先進(jìn)集體表彰大會在廣州舉行。深圳中科飛測科技股份有限公司（以下簡稱“中科飛測”）研發(fā)總監(jiān)、首席科學(xué)家黃有為當(dāng)選2025年廣東省勞動模范。作為國內(nèi)半導(dǎo)體晶圓檢測行業(yè)的龍頭企業(yè)，中科飛測以黃有為博士為首的科研團(tuán)隊攻堅克難，屢屢創(chuàng)造行業(yè)奇跡，攻克多項國外“卡脖子技術(shù)”，打破國外企業(yè)的壟斷局面。
學(xué)成報國，投身時代洪流
2010年，黃有為畢業(yè)于北京理工大學(xué)光學(xué)工程博士專業(yè)。彼時，國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展遭遇瓶頸期，遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國際水平，國家開始在光刻機(jī)領(lǐng)域積極攻關(guān)布局，設(shè)立重大專項。在這一背景下，他毅然決然地投身半導(dǎo)體行業(yè)，加入清華大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實驗室從事博士后研究工作，參與國產(chǎn)光刻機(jī)的研發(fā)工作。
從清華大學(xué)博士后出站后，黃有為加入了中國科學(xué)院微電子研究所，擔(dān)任助理研究員。這一期間，他對國際半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的形勢、半導(dǎo)體集成電路裝備有了更深入的理解和認(rèn)知，逐漸奠定了自身的理論與技術(shù)的基礎(chǔ)。
2016年，黃有為加入中科飛測公司，擔(dān)任SPURCE團(tuán)隊負(fù)責(zé)人。此時，他在業(yè)內(nèi)已是小有名氣的科學(xué)家，而中科飛測剛處于起步階段。“當(dāng)時的（中科）飛測公司在微電子研究所旁邊的一棟居民樓里，只有200㎡左右，里面環(huán)境特別差，來面試的畢業(yè)生還以為進(jìn)了傳銷組織?！闭劶白约旱倪@一選擇，黃有為顯得異常堅定，“雖然條件艱苦，但是在這工作的每一個人都很有熱情，大家始終抱著攻堅克難的決心，一定要研制出國產(chǎn)的半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備。這也是我加入（中科）飛測公司的一個重要原因?！?/p>
在黃有為的帶領(lǐng)下，2017年，中科飛測SPURCE團(tuán)隊研制出了國內(nèi)首臺面向90-65nm節(jié)點(diǎn)的SPRUCE-600無圖形晶圓表面檢測設(shè)備，滿足國內(nèi)相應(yīng)節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體制造企業(yè)的需求，實現(xiàn)了國產(chǎn)無圖形晶圓光學(xué)檢測設(shè)備從無到有的突破。
面對困境，大膽跳代研發(fā)
中科飛測歷經(jīng)十年發(fā)展，掌握了多項長期被國外企業(yè)壟斷的“卡脖子技術(shù)”。以激光掃描與成像探測技術(shù)為例，要求在直徑300毫米的晶圓上，實現(xiàn)一分鐘之內(nèi)對十幾納米級別的缺陷進(jìn)行完整的掃描與檢測。
談及這項技術(shù)，黃有為舉了個十分形象的例子，“這就相當(dāng)于在深圳2000平方公里的土地上，一分鐘之內(nèi)檢測出所有和足球一般大小的缺陷，而且要分清楚檢測的是籃球還是足球?！倍@些核心技術(shù)形成的背后，隱藏著一個曾經(jīng)改變公司走向的大膽決定。
2017年，在研制出了首代國產(chǎn)無圖形晶圓表面檢測設(shè)備后，黃有為面臨著一個兩難抉擇。是按部就班繼續(xù)研制第二代設(shè)備，還是對標(biāo)國際頂尖水平，直接研制最先進(jìn)的第四代設(shè)備？經(jīng)過深思熟慮后，黃有為做出了一個令人意外的選擇：直接研制最先進(jìn)的第四代設(shè)備。
“跨代研發(fā)所面臨的風(fēng)險是巨大的，無論是技術(shù)還是資金，稍有不慎，可能數(shù)年的努力都會前功盡棄。但是，如果不跨代，我們永遠(yuǎn)都會跟在別人身后，始終無法滿足最前沿的市場、客戶的需求，所以，這個代再難跨，我們也必須跨過去?！秉S有為談道。
功夫不負(fù)有心人，最終，黃有為團(tuán)隊僅用三年時間，就實現(xiàn)了從90nm到14nm多個工藝節(jié)點(diǎn)的跨越式發(fā)展。如今，中科飛測已在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體檢測設(shè)備出貨量超過1000臺，產(chǎn)品覆蓋國內(nèi)超100家客戶，市場份額躍居全球第二，儼然邁向國際頂尖水平。
政策扶持，行業(yè)前景光明
近年來，中科飛測積極招賢納士，每年研發(fā)人員的增長率超過30%，為行業(yè)、國家培養(yǎng)了諸多優(yōu)秀的后備人才。這一優(yōu)異數(shù)據(jù)的背后，離不開深圳市、龍華區(qū)的多項政策支持。
“自從中科飛測落地龍華區(qū)以來，市里和區(qū)里都給予了各方面的支持與服務(wù)。尤其是人才方面，例如龍華區(qū)的‘龍舞華章計劃’，為我們留住人才提供了重要的支持和保障?！秉S有為說道。
隨著越來越多的青年才干的加入，國內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域呈現(xiàn)出蓬勃的發(fā)展態(tài)勢。談及對行業(yè)未來發(fā)展的看法，黃有為引用了一句名言：前途是光明的，道路是曲折的。
“大家都知道芯片對我們生活產(chǎn)生的影響是覆蓋方方面面的，國外的芯片在某些領(lǐng)域仍有一定的技術(shù)優(yōu)勢。但這些僅存的技術(shù)優(yōu)勢又能持續(xù)多久呢？如今國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的速度是十分驚人的，我有信心在3-5年內(nèi)對國外壟斷企業(yè)進(jìn)行追趕，在5-10年內(nèi)實現(xiàn)超越，這不僅是我的底氣，也是中國半導(dǎo)體的底氣?！秉S有為堅定地說道。
就在5月6日，中科飛測發(fā)布了明場納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備REDWOOD-900。據(jù)悉，這款設(shè)備制作的難度和復(fù)雜度僅次于光刻機(jī)，被稱為半導(dǎo)體檢測裝備的皇冠上的明珠。